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真空镀膜电源
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偏压电源类型

2024-06-10 10:00:34

脉冲偏压电源是真空电弧离子镀和磁控溅射镀膜或其他真空物理气相沉积设备的重要组成部分,对于不同的镀膜工艺,偏压电源也分为不同的类型


根据波形可以分为:


一、直流偏压电源


二、直流脉冲偏置


主要特点

1.高频单极脉冲对工件施加偏压,与直流偏压相比,由于电压中断间隙的存在,可以有效减少点火次数,保护工件表面。

2.在脉冲间隙期间,可以中和工件表面积聚的电荷,从而减少表面电荷积聚引起的点火。

3.高频逆变器技术的快速关断能力可以有效地减少每个火花释放的能量,即使在火花出现时,也可以显著降低工件表面的大损伤程度。

4.在脉冲间隙期间沉积到工件表面的离子能量非常低。

5.可以通过调节频率和占空比来提高和控制成膜速度和质量。


偏压电源

三、直流叠加脉冲偏置

主要特点

1.具有单极脉冲偏置电源的所有特性。

2.在直流和直流叠加脉冲模式下,消除了单极脉冲间隙之间离子能量低的问题。


四、双极脉冲偏置

主要特点

1.负脉冲的作用与单极脉冲偏置电源相同,正脉冲的作用主要是吸引等离子体中的电子,以中和工件表面正电荷的积累。因为电子的质量比离子的质量小得多,加速很容易,所以正脉冲的振幅比负脉冲的振幅小得多——通常为10~100V,正负脉冲的电流积分应该相等。因此,正电源的功率远小于负电源的功率。

2.当正电源电压为零时,双极脉冲偏压变为单极脉冲偏压。

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