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离子源电源主要利用离子气体轰击基材，较好地清洗基材表面的油渍，增强涂层后的附着力。随着市场对产品质量的要求越来越高，真空镀膜厂家也想出了各种方法来提高产品质量，以满足客户的检测要求。离子源电源旨在从生产源头控制质量。
在真空镀膜的生产过程中，镀膜前要对基材进行清洗，否则看不见的污垢会造成镀膜后颜色不均匀。较为常用的方法是超声波清洗。但它不同于离子源电源产生的离子气轰击清洗。在真空状态下，离子气体在电场的作用下高速运动，在衬底表面产生物理碰撞，离子气体的能量足以去除各种污染物。离子源电源近两年来逐渐被真空镀膜厂家所接受。
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